超歓迎された 小型流量センサ 【取寄】[CKD]CKD ラピフロー CKD(株)]【TC】【TN】 流量計 計測機器 FSM2NVR200H063B[生産加工用品-その他



●流量監視に抜群の使いやすさで、双方向計測も可能です。
●設備や塗装エアの消費流量管理。
●半導体製造装置パージガスの流量管理。
●イオナイザの流量管理。
●微小部品の吸着確認や吸着ミス管理。
●ノズルやフィルタの目詰まり検知。
●最大流量(L/min):20
●分解能(L/min):0.01
●接続サイズ:ワンタッチφ6
●質量(g):50
●対象流体:清浄/圧縮空気・窒素ガス(アルゴン炭酸ガス)
●精度:±1%F.S以下
●耐圧保証:1MPa
●耐熱温度:0~50℃(結露なきこと)
●容器保護等級:IP40
●最高使用圧力:0.7MPa
●アナログ出力:電圧1~5V
●SW出力:2点
●最低使用圧力:-0.09MPa
●使用流体温度:0~50℃
●直線性:±3%F.S.以下
●応答時間:50ms以下
●EMC指令適合品
●流量表示:デジタル
●流量調整:無し
●原産国(名称):日本

お取り寄せ商品のため、3週間~1ヶ月程度お時間をいただく場合がございます。予めご了承ください。

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